ご案内 ＳＦＳ−Ｈシリーズは、従来のＳＦＳシリーズより耐荷重アップ、ハイスピード化を目標に開発したピエゾステージです。 ピエゾ素子をアクチュエータとして採用し、オープンループ制御でストローク９０〜１００μｍ、理論分解能１ｎｍの微動を 実現しております。位置検出センサにはデジタルセンサ（周波数→デジタル変換方式微小変位センサ）を採用し、 クローズドループ制御時の表示分解能は１０ｎｍを実現しております。 コントローラ：ＦＩＮＥシリーズを併用することにより、リニアリティ０．３％以内、高速化も実現。さらに繰り返し周波数は ＳＦＳ−Ｈ６０Ｘ、ＳＦＳ−Ｈ４０Ｘにおいて１０〜１５Hz（フルストローク、クローズドループ時）も実現しました。 高速、高精度位置決めを必要とする装置或いは実験用途に最適なステージとなります。 SFS-H60X(CL) SFS-H60X(CL) ※上記の値は、制御器にSFSコントローラ:FINEシリーズをした際の数値となります。 ※＊２・・・センサ分解能は、サンプリング時間350μｓ時の値となります。 SFS-H60XY(CL) SFS-H60XY(CL) ※上記の値は、制御器にSFSコントローラ:FINEシリーズをした際の数値となります。 ※＊２・・・センサ分解能は、サンプリング時間350μｓ時の値となります。 SFS-H40X(CL) SFS-H40X(CL) ※上記の値は、制御器にSFSコントローラ:FINEシリーズをした際の数値となります。 ※＊２・・・センサ分解能は、サンプリング時間350μｓ時の値となります。 SFS-H60Z(CL) SFS-H60Z(CL) ※上記の値は、制御器にSFSコントローラ:FINEシリーズをした際の数値となります。 ※＊２・・・センサ分解能は、サンプリング時間350μｓ時の値となります。 SFS-H60XYZ(CL) SFS-H60XYZ(CL) ※上記の値は、制御器にSFSコントローラ:FINEシリーズをした際の数値となります。 ※＊２・・・センサ分解能は、サンプリング時間350μｓ時の値となります。 SFS-H40Z(CL) SFS-H40Z(CL) ※上記の値は、制御器にSFSコントローラ:FINEシリーズをした際の数値となります。 ※＊２・・・センサ分解能は、サンプリング時間350μｓ時の値となります。 有限会社イサックス 〒350-1203　埼玉県日高市旭ヶ丘138-17 TEL 042-984-3270　FAX 042-984-3275 E-mail info@isax.jp　URL http://www.isax.jp